性能特点：
1.具有热氧化稳定性高、粘温系数小、沸点范围窄、蒸气压曲线陡(温度变化一点，蒸气压变化很大)；

2.常温蒸气压低，凝固点低，加之化学惰性，无毒、无味、无腐蚀。因而它可在250℃下长时间使用，在真空下允许在更高温度下使用。使用上述硅油可获得1.333×10-7~1.333×10-11kPa(无阱条件下)及1.333×10-10~1.333×10-12kPa。
3. 缩短调节运行时间；

4.单一组分硅油比用多组分硅油达到最大真空度需要的时间短得多；

5.快速抽空；

6.极小的回流，单一组分硅油的蒸汽压力是很低的，以至对于许多应用阱或现存的阱致冷是不需要的；

7.较长的服务寿命；

8.硅油的热和化学稳定性允许长久的运行而不被恶化和污染；

9.清洗系统维修需求较少；

10.较快的循环，减少停机时间，更换油的需求少。 特性 热稳定性，高温抗氧化性，化学惰性 苯含量高，化学惰性，无杂质，抗氧化、辐射和爆炸 热稳定性，低水汽压力，低回流率，抗氧化、水解和辐射用途 用于生产工作中快速抽空大容积气体和水汽 用于制造10-7~10-8乇(无阱)和10-10~10-11乇(有阱)的真空) 用于制造超高和超洁净真空 使用硅油的扩散泵被广泛用在电子、电气及金属加工等要求高真空系统的领域，如显像管、灯泡、大功率电子管、微波电子管、原子能加速器、电子显微镜、半导体元件、集成电路、电子部件、金属真空镀膜、真空冶金、加工锻烧装置及真空蒸馏等部门。

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